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                              • 光學鍍膜機

                              HO-1100DBI真空光學鍍膜機

                              特點 ■60點/80點式光學膜厚監控 ■使用均勻分布的高離子電流密度的離子源 ■搭載雙電子槍,多點和環型坩堝可鍍100層以上 ■利用自動蒸鍍控制系統實現全自動蒸鍍過程 ■工件架可選擇鐘

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                              聯系熱線 13829171291

                              產品特點:
                              ■60點/80點式光學膜厚監控
                              ■使用均勻分布的高離子電流密度的離子源
                              ■搭載雙電子槍,多點和環型坩堝可鍍100層以上
                              ■利用自動蒸鍍控制系統實現全自動蒸鍍過程
                              ■工件架可選擇鐘罩式或行星式
                              ■排氣系統可選擇擴散泵+低溫冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵

                              應用領域:
                              光學鍍膜機適合鍍制多種光學膜。如望遠鏡、汽車、眼鏡片、車載儀表盤、平板電腦、光學鏡頭、冷光杯等,配置不同的蒸發源及膜厚儀,可鍍制多種膜系,對金屬、氧化物、化合物及其他高熔點膜材皆可蒸鍍,并可在玻璃表面鍍超硬膜。


                              型號 HO-1100DBI
                              真空室 SUS304, φ1100mm×1520mm (H)
                              工件架 φ 950mm
                              工件架轉速 10 rpm to 50 rpm (可變)
                              光學膜厚控制 HOM2-R-VIS350A光學膜厚監控儀
                              波長范圍:350nm to 1100nm
                              反射式/透射式可選
                              水晶式膜厚計 XTC/3+6點式水晶傳感器
                              蒸發源 電子槍2套
                              離子源 17cm RF 離子源
                              排氣系統 機械泵+2個擴散泵+Polycold(或2個冷凝泵)
                              達到壓力 7.0 × 10-5Pa以下
                              排氣時間 15 (大氣壓 1.3×10-3Pa)
                              排氣時間 大氣壓至1.5×10--3Pa≤30min
                              基板溫度 最高:350℃
                              尺寸 5000mm (W)×6000mm (D)×3300mm (H) approx.
                              電源  3相,200v,50/60Hz, 約100KVA
                              水流量 120升/分以上
                              空氣壓力 0.5MPa 以上
                              重量 約7200kg

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