HO-1100DBI真空光學鍍膜機
特點 ■60點/80點式光學膜厚監控 ■使用均勻分布的高離子電流密度的離子源 ■搭載雙電子槍，多點和環型坩堝可鍍100層以上 ■利用自動蒸鍍控制系統實現全自動蒸鍍過程 ■工件架可選擇鐘
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產品特點：
■60點/80點式光學膜厚監控
■使用均勻分布的高離子電流密度的離子源
■搭載雙電子槍，多點和環型坩堝可鍍100層以上
■利用自動蒸鍍控制系統實現全自動蒸鍍過程
■工件架可選擇鐘罩式或行星式
■排氣系統可選擇擴散泵+低溫冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵
應用領域：
光學鍍膜機適合鍍制多種光學膜。如望遠鏡、汽車、眼鏡片、車載儀表盤、平板電腦、光學鏡頭、冷光杯等，配置不同的蒸發源及膜厚儀，可鍍制多種膜系，對金屬、氧化物、化合物及其他高熔點膜材皆可蒸鍍，并可在玻璃表面鍍超硬膜。
| 型號 | HO-1100DBI |
| 真空室 | SUS304, φ1100mm×1520mm (H) |
| 工件架 | φ 950mm |
| 工件架轉速 | 10 rpm to 50 rpm (可變) |
| 光學膜厚控制 |
HOM2-R-VIS350A光學膜厚監控儀 波長范圍：350nm to 1100nm 反射式/透射式可選 |
| 水晶式膜厚計 | XTC/3+6點式水晶傳感器 |
| 蒸發源 | 電子槍2套 |
| 離子源 | 17cm RF 離子源 |
| 排氣系統 | 機械泵+2個擴散泵+Polycold（或2個冷凝泵） |
| 達到壓力 | 7.0 × 10-5Pa以下 |
| 排氣時間 | 15分 (大氣壓 1.3×10-3Pa) |
| 排氣時間 | 大氣壓至1.5×10--3Pa≤30min |
| 基板溫度 | 最高：350℃ |
| 尺寸 | 5000mm (W)×6000mm (D)×3300mm (H) approx. |
| 電源 | 3相,200v,50/60Hz, 約100KVA |
| 水流量 | 120升/分以上 |
| 空氣壓力 | 0.5MPa 以上 |
| 重量 | 約7200kg |
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